快速熱處理 (RTP) 是一種在半導體製造過程中對襯底進行退火的工藝,高強度鎢燈或鹵素燈(RTP lamp)用作熱輻射源, 反射板(Reflector Plate)有助於保持溫度均勻性，因為反射板將從晶片發射的熱輻射反射回晶片。